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J-GLOBAL ID：201302218815987373   整理番号：12A1791411

透明導電膜の実用化と新機能開拓-赤外まで透明なSnO₂透明導電膜の開発

著者 (3件)： 長尾祥一郎 (神奈川科学技術アカデミー) ,  長谷川哲也 (神奈川科学技術アカデミー) ,  長谷川哲也 (東大 大学院理学系研究科)
資料名： 未来材料  (Expected Materials for the Future)
巻： 12  号： 12  ページ： 33-35  発行年： 2012年12月10日 
JST資料番号： L4328A  ISSN： 1346-0986  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 波長1400nmまでを有効利用できるような次世代太陽電池用として,赤外まで透明なSnO₂透明導電膜の開発を行った。ガラス基板上にアナターゼ型TiO₂シード層を作製し,その上にSnO₂薄膜成長をパルスレーザ蒸着(PLD)法で行うと移動度80cm²V^-1s^-1以上の高移動度SnO₂透明導電性膜が得られることが分った。このSnO₂薄膜は,近赤外領域においても高い透過率を維持し,波長1950nmまで透過率70%以上であった。また,この技術の実用化に向けてスパッタ法による大面積基板への成膜を試みた結果,cmオーダーの薄膜の作製が可能となったが,移動度は最高49cm²V^-1s^-1であり,PLD膜の7割程度であり,更なる工夫が必要であることが分った。

シソーラス用語： *酸化スズ ,  *透明導電膜 ,  基板 ,  *レーザ蒸着 ,  パルスレーザ照射 ,  *薄膜成長 ,  下層 ,  アナターゼ ,  酸化チタン ,  *キャリア移動度 ,  透過率 ,  光透過 ,  スパッタリング ,  ガラス ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： *シード層

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

引用文献 (7件)：

• 1)鯉田崇,藤原裕之,近藤道雄:表面科学,29,18(2008).
• 2)尾山卓司:表面技術,60,616(2009).
• 3) S. Nakao, N. Yamada, T. Hitosugi, Y. Hirose, T. Shimada, T. Hasegawa: Thin Solid Films, 518, 3093 (2010).
• 4) S. Nakao, N. Yamada, T. Hitosugi, Y. Hirose, T. Shimada, T. Hasegawa: Appi. Phys. Express, 3, 031102 (2010).
• 5) S. Nakao, N. Yamada, T. Hitosugi, Y. Hirose, T. Shimada, T. Hasegawa: Phys. Status Solidi C, 8, 543 (2011).

タイトルに関連する用語 (6件)： 透明導電膜 ,  実用化 ,  開拓 ,  赤外 ,  SnO2 ,  開発