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J-GLOBAL ID：201302223482680830   整理番号：13A1638681

フェムト秒レーザー誘起表面ナノ周期構造生成の超高速ダイナミクス

Ultrafast Dynamic Processes for Periodic Surface Nanostructure Formation Induced with Femtosecond Laser Pulses

著者 (2件)： 宮地悟代 (京大 エネルギー理工学研) ,  宮崎健創 (京大 エネルギー理工学研)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 41  号： 10  ページ： 816-820  発行年： 2013年10月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザを表面に照射して,ナノ周期構造を形成する場合,この超高速ダイナミクスについて検討した。ポンププローブ法を利用してSiの反射率を時間分解計測し,複数パルス照射によるレーザアブレーションでの表面電子密度と格子温度を測定した。Siの表面でアブレーションが起こり周期構造が形成される場合,表面の電子密度が0.6~1×10²²cm^-3になり,格子温度がSiの融点よりも低いことが分かった。微細構造の形成には,低フルエンスのフェムト秒パルスによって非熱的に誘起されるアブレーション過程が必要であることを指摘した。

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,  パルスレーザ ,  フェムト秒 ,  ポンププローブ法 ,  動力学 ,  フルエンス ,  電子密度 ,  周期構造 ,  微細構造 ,  パターン形成 ,  高速度 ,  *ナノ構造 ,  *レーザ加工 ,  *パルスレーザ照射 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： 超高速

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

引用文献 (22件)：

• 1) J. Reif, F. Costache, M. Henyk, and S. V. Pandelov: Appl. Surf.\nSci. 197-198 (2002) 891.
• 2) N. Yasumaru, K. Miyazaki, and J. Kiuchi: Appl. Phys. A 76 (2003)\n983.
• 3) Q. Wu, Y. Ma, R. Fang, Y. Liao, Q. Yu, X. Chen, and K. Wang:\nAppl. Phys. Lett. 82 (2003) 1703.
• 4) A. Borowiec and H. K. Haugen: Appl. Phys. Lett. 82 (2003)\n4462.
• 5) G. Daminelli, J. Krüger, and W. Kautek: Thin Solid Films 467\n(2004) 334.

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザー ,  誘起 ,  周期構造 ,  ダイナミクス