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J-GLOBAL ID：201302236519483473   整理番号：13A1447105

非テーパーマイクロサイズピラーを使ったマイクロ圧縮試験によって評価した超臨界CO₂エマルジョンの電気めっきで製作したニッケルの機械的特性

Mechanical properties of nickel fabricated by electroplating with supercritical CO₂ emulsion evaluated by micro-compression test using non-tapered micro-sized pillar

著者 (4件)： NAGOSHI Takashi (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN) ,  CHANG Tso-fu Mark (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN) ,  TATSUO Sato (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN) ,  SONE Masato (Precision and Intelligence Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Midori-ku, Yokohama 226-8503, JPN)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 110  ページ： 270-273  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿は,高圧電気めっき(HPE)と超臨界CO₂エマルジョン(ESCE)で製作したニッケル膜の機械的特性を報告する。めっき膜の構造と機械的特性を,TEM,電子後方散乱回折解析,非テーパーマイクロサイズピラーを使ったマイクロ圧縮試験によって調査した。膜はWatts浴,超臨界CO₂と界面活性剤で構成される電解質で電気めっきされる。ESCEを撹拌すると多くの水中CO₂型ミセルが形成される。ミセルは周期的めっき特性と称する効果の原因となり,この効果はメッキされたニッケルの微細構造を3μmの柱状結晶構造から直径8μmの等軸晶構造にリファインする。機械的特性も3.5GPaの圧縮強度に改善され,これはHPEニッケルよりも5倍高い。ESCEの高い強度は結晶のリファインとカーボン不純物の結果に大きく拠るものと考えられる。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： ナノ結晶 ,  *電気めっき ,  超臨界流体 ,  二酸化炭素 ,  *機械的性質 ,  圧縮試験 ,  *ニッケル ,  界面活性剤 ,  ミセル ,  微細構造 ,  柱状晶 ,  立方晶系 ,  超臨界二酸化炭素
準シソーラス用語： ナノ結晶ニッケル ,  機械的特性 ,  柱状結晶 ,  超臨界CO2 ,  等軸晶【結晶系】

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 圧縮試験 ,  評価 ,  超臨界CO2 ,  エマルジョン ,  電気めっき ,  製作 ,  ニッケル ,  機械的特性