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J-GLOBAL ID：201302239305894777   整理番号：13A1780921

ポリ(ビニール・アルコール)を使用したカーボンナノチューブネットワークの転送技術によるフレキシブル基板上への薄膜トランジスタ集積回路の製作

Fabrication of Thin-Film Transistor Integrated Circuits on Flexible Substrate by Transfer Technique of Carbon Nanotube Network Using Poly(vinyl alcohol)

著者 (6件)： ISHII Satoshi (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  ISHII Satoshi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  NISHU Mamoru (Tokyo Denki Univ., Saitama, JPN) ,  KISHIMOTO Shigeru (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MIZUTANI Takashi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MIZUTANI Takashi (Chubu Univ., Aichi, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 10,Issue 1  ページ： 108001.1-108001.3  発行年： 2013年10月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ(CNTTFTs)から成るフレキシブルな集積回路をポリ(エチレンナフタレート)(PEN)基板上にCNTネットワークの転送技術を用いて作成した。ポリ(ビニール・アルコール)(PVA)を使用することで,SiO₂/p⁺Si基板上にプラズマ化学気相成長法で成長したCNTネットワークをPEN基板に転送した。遅延時間が1.1μs/ゲートのリング発振器が,10μmのチャンネル長に対し実現できた。現状の遅延時間は,転送または印刷されたCNTネットワークを使用したCNTTFTのフレキシブルな集積回路で,今まで報告された中で最速である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ポリビニルアルコール ,  *カーボンナノチューブ ,  *フレキシブル基板 ,  *薄膜トランジスタ ,  ポリエチレンナフタレート ,  時間
準シソーラス用語： 遅延時間 ,  有機薄膜トランジスタ

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  有機化合物の電気伝導  (BM03045F)

引用文献 (17件)：

• Q. Cao, S.-H. Hur, Z.-T. Zhu, Y. G. Sun, C.-J. Wang, M. A. Meitl, M. Shim, and J. A. Rogers: Adv. Mater. 18 (2006) 304.
• F. N. Ishikawa, H. Chang, K. Ryu, P. Chen, A. Badmaev, L. Gomez De Arco, G. Shen, and C. Zhou: ACS Nano 3 (2009) 73.
• W. J. Yu, S. Y. Lee, S. H. Chae, D. Perello, G. H. Han, M. Yun, and Y. H. Lee: Nano Lett. 11 (2011) 1344.
• C. Wang, J.-C. Chien, K. Takei, T. Takahashi, J. Nah, A. M. Niknejad, and A. Javey: Nano Lett. 12 (2012) 1527.
• D. T. Pham, H. Subbaraman, M. Y. Chen, X. Xu, and R. T. Chen: IEEE Trans. Nanotechnol. 11 (2012) 44.

タイトルに関連する用語 (8件)： ビニール ,  アルコール ,  カーボンナノチューブ ,  転送 ,  フレキシブル基板 ,  薄膜トランジスタ ,  集積回路 ,  製作