文献

J-GLOBAL ID：201302239524866126   整理番号：13A0071203

実用化が進むMEMSマイクロミラー

著者 (3件)： 羽根一博 (東北大) ,  羽根一博 (日本機械学会) ,  佐々木敬 (東北大)
資料名： 日本機械学会誌  (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
巻： 116  号： 1130  ページ： 43-46  発行年： 2013年01月05日 
JST資料番号： F0228A  ISSN： 0021-4728  CODEN： NKGKA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レーザ走査型のディスプレイ用ミラーの原理,及び近年の研究状況について紹介した。中でも,静電櫛歯アクチュエータを用いたミラーについて,真空封止による駆動電圧の低減法について紹介した。また,機能性を高めたミラーとして焦点可変機能を備えた走査ミラーについても紹介した。

シソーラス用語： *表示装置 ,  *反射鏡 ,  MEMS ,  光走査 ,  *マイクロミラー
準シソーラス用語： レーザ走査

分類 (1件)： 入出力装置  (JC04050U)

引用文献 (11件)：

• THOMAS, R. N. IEEE Trans. Electron Devices. 1975, ED-22, 765-775
• PETERSEN, K. E. Appl. Phys. Lett. 1977, 31, 521-523
• http://http://www.dlp.com/
• ZIMMER, F. J. MEMS. 2011, 20, 564-572
• WITVROUW, A. Proc. 22nd IEEE MEMS, 2009-1. 2009, 136-139

タイトルに関連する用語 (3件)： 実用化 ,  MEMS ,  マイクロミラー