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J-GLOBAL ID：201302250600765362   整理番号：13A0794802

呼吸解析による癌診断のためのアレイ配置の圧電抵抗膜形表面応力センサ

PIEZORESISTIVE MEMBRANE-TYPE SURFACE STRESS SENSOR ARRANGED IN ARRAYS FOR CANCER DIAGNOSIS THROUGH BREATH ANALYSIS

著者 (9件)： LOIZEAU Frederic (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, CHE) ,  LANG Hans Peter (Univ. Basel, CHE) ,  AKIYAMA Terunobu (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, CHE) ,  GAUTSCH Sebastian (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, CHE) ,  VETTIGER Peter (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, CHE) ,  TONIN Andreas (Univ. Basel, CHE) ,  YOSHIKAWA Genki (National Inst. Materials Sci., JPN) ,  GERBER Christoph (Univ. Basel, CHE) ,  DE ROOIJ Nico (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, CHE)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.1  ページ： 621-624  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 内視鏡や疑わしい病変の生検などで癌診断が行われているが,非侵襲的診断ができ,小型で形態性に優れたセンサが望まれている。本稿では,吊下げ膜からなる新規表面応力センサを検討した。膜の四方向を固定し,全応力を効果的に圧電抵抗に変換する構造を採用した。SOIウエハ基板上にDRIEで膜形表面応力センサ(MSS)を作製した。膜表面にインクジェットプリンタで種々の機能性高分子を塗布した。本MSSの湿度に対する応答を測定した。本MSSを通常の自由端の圧電抵抗片持梁と比較した。本MSSを用いて呼吸解析で頭と喉の癌を検知する人工鼻も作製した。この結果により,本MSSの感度は従来の圧電片持梁のセンサよりも20倍高いことを示した。湿度応答は87mV/%RHの感度であった。

シソーラス用語： *診断 ,  *センサ ,  電気抵抗 ,  呼吸 ,  表面応力 ,  RIE【エッチング】 ,  ジェットプリンタ ,  機能性高分子 ,  片持梁
準シソーラス用語： DRIE【エッチング】 ,  インクジェットプリンタ ,  圧電抵抗 ,  応力センサ ,  癌診断

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 呼吸 ,  解析 ,  癌診断 ,  アレイ ,  圧電 ,  抵抗膜 ,  応力センサ