応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
二酸化ケイ素 について
炭化ケイ素 について
酸化 について
処理 について
熱酸化 について
焼なまし について
X線光電子分光法 について
容量電圧特性 について
薄膜コンデンサ について
MOS構造 について
膜厚 について
4H-SiC について
酸化処理 について
MOSコンデンサ について
半導体の表面構造 について
金属-絶縁体-半導体構造 について
犠牲 について
酸化処理 について
熱酸化 について
SiO2 について
4H-SiC について