文献

J-GLOBAL ID：201302261061820992   整理番号：13A0822658

大変形可能な硬X線集光用形状可変ミラーの開発-シミュレーションによる設計指針の検討-

著者 (9件)： 後藤拓実 (大阪大 工) ,  中森紘基 (大阪大 大学院工学研究科) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  今井将太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  木村隆志 (北大 電子科研) ,  佐野泰久 (大阪大 工) ,  香村芳樹 (理研) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C64  発行年： 2013年02月27日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は,硬X線領域におけるN.A.可変な集光光学系を構築するため,形状可変ミラーの開発を行っている。これまでに作製した形状可変ミラーは,2nmの変形精度を達成し,半値幅120nmの集光に成功した。現在は,さらに大きな変形量を持つ形状可変ミラーを開発中である。本発表では,波動光学シミュレーションと有限要素解析により得られた,大変形形状可変ミラーの設計指針について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *大変形 ,  *可変性 ,  集光器 ,  ナノテクノロジー ,  精度
準シソーラス用語： 形状可変鏡 ,  光学シミュレーション ,  *硬X線集光器 ,  変形精度 ,  有限要素解析

分類 (3件)： その他の光学  (BD03100O) ,  その他の光デバイス  (BD06060O) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大変形 ,  硬X線 ,  集光 ,  形状可変ミラー ,  開発 ,  シミュレーション ,  設計指針