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J-GLOBAL ID：201302263601775749   整理番号：13A1793609

薄膜形状記憶合金のハイスループット評価法

High-Throughput Characterization of Thin Film Shape Memory Alloys

著者 (4件)： 青野祐子 (東京工業大学大学院 理工学研究科 機械物理工学専攻) ,  川口龍太郎 (東京工業大学 大学院 総合理工学研究科 メカノマイクロ工学専攻) ,  桜井淳平 (東京エレクトロン(株)) ,  秦誠一 (名古屋大学大学院 工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 133  号： 8  ページ： 348-353 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： コンビナトリアル手法による薄膜形状記憶合金の探索のため,マルテンサイト変態温度および逆変態温度のハイスループット評価法を示した。これまで,薄膜形状記憶合金のハイスループット評価法の主流は,各サンプルの電気抵抗率の変化をモニタリングする方法であった。しかしながら,その方法では,サンプル数と同数の四探針プローブが必要であり,接触式であるため,大がかりな装置構成となった。そこで,本研究では,非接触で簡便な構成でハイスループット評価を実現することを目指した。実験の結果,サーモグラフィーを利用することで,非接触で薄膜形状記憶合金のサンプル(TiNiPd)の多点のマルテンサイト変態および逆変態を検出できることがわかった。また,本手法を用いた場合,基板上に集積された1mm角の薄膜形状記憶合金でもその変態を検出することが可能になった。本手法によりマルテンサイト変態温度および逆変態温度を評価したところ,従来の方法との差異も5K程度であった。さらに,組成傾斜を有する集積化薄膜サンプルで実際にハイスループット評価を行った結果,妥当な熱特性の傾向を得ることに成功した。

シソーラス用語： コンビナトリアルケミストリー ,  *形状記憶合金 ,  スループット ,  転移温度 ,  サーモグラフィー ,  チタン ,  ニッケル ,  パラジウム ,  *形状記憶効果
準シソーラス用語： コンビナトリアル手法 ,  ハイスループット ,  マルテンサイト変態温度

分類 (1件)： その他の金属組織学  (WB01040Y)

引用文献 (14件)：

• OTSUKA, K. Shape memory materials. 1999
• MIYAZAKI, S. Thin Film Shape Memory Alloys Fundamentals and Device Applications. 2009
• FAMODU, O. O. Combinatorial investigation of ferromagnetic shape-memory alloys in the Ni-Mn-Al ternary system using a composition spread technique. Mater. Trans. 2004, 45, 173-177
• OKADA, N. Effect of Zr content on shape memory characteristics and workability of Ti-Ni-Zr alloy. J. Jpn. Inst. Metals. 2008, 72, 152-157
• ZARNETTA, R. Combinatorial study of phase transformation characteristics of a Ti-Ni-Pd shape memory thin film composition spread in view of microactuator applications. Appl. Surf. Sci. 2007, 254, 743-748

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  形状記憶合金 ,  ハイスループット ,  評価法