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J-GLOBAL ID：201302270498487779   整理番号：13A0401521

純水中での酸素還元反応を利用したGe表面の平坦化と非貴金属触媒材料の開発

著者 (8件)： 村敦史 (大阪大 大学院) ,  川瀬達也 (大阪大 大学院) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院) ,  佐野秦久 (大阪大 大学院) ,  山内和人 (大阪大 大学院) ,  打越純一 (大阪大 大学院) ,  森田瑞穂 (大阪大 大学院) ,  有馬健太 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2012  ページ： 98-99  発行年： 2012年06月15日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *エッチング ,  白金触媒 ,  純水 ,  還元 ,  遷移金属触媒 ,  炭素材 ,  グラフェン
準シソーラス用語： *Ge基板 ,  *平坦化 ,  酸素還元反応 ,  非貴金属触媒 ,  貴金属触媒

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水中 ,  酸素還元反応 ,  Ge ,  平坦化 ,  非貴金属触媒 ,  開発