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J-GLOBAL ID：201302275511823734   整理番号：13A1780917

平面圧電抵抗振動センサの感度に関する解析的および実験による研究

Analytical and Experimental Study on Sensitivity of Planar Piezoresistive Vibration Sensor

著者 (4件)： ZHANG Lan (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  LU jian (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  TAKAGI Hideki (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  MAEDA Ryutaro (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 10,Issue 1  ページ： 106502.1-106502.9  発行年： 2013年10月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 安価なプロセスコストで,パッケージの困難さの生じない,平面高感度圧電抵抗振動センサの開発を行っている。高感度を求めて,センサ構造の設計および最適化を,理論的原理アプローチおよび有限要素法(FEM)解析とともに研究した。屈曲の幅および長さ,構造の厚さ,および圧電抵抗の幅を含んだ振動センサ寸法の影響を,包括的に解析した。振動センサの製作のために設計指針を提示し,屈曲ビームの上の圧電抵抗の位置を最適化した。1ビームの屈曲における相対抵抗変化を計算するために,理論的アプローチおよびFEMミュレーションにを用いた。2つの方法の結果は良く一致し,相対誤差は3.8%にすぎなかった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *圧電素子 ,  *センサ ,  感度 ,  有限要素法 ,  梁
準シソーラス用語： *圧電抵抗素子 ,  *振動センサ

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

引用文献 (26件)：

• W. P. Eaton and J. H. Smith: Smart Mater. Struct. 6 (1997) 530.
• S. Sugiyama, M. Takigawa, and I. Igarashi: Sens. Actuators A 4 (1983) 113.
• H. Chen, S. Shen, and M. Bao: Sens. Actuators A 58 (1997) 197.
• J. Dong, X. Li, Y. Wang, D. Lu, and S. Ahat: J. Micromech. Microeng. 12 (2002) 742.
• F. Gretillat, M.-A. Gretillat, and N. F. de Rooij: J. Microelectromech. Syst. 8 (1999) 243.

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電抵抗 ,  振動センサ ,  感度 ,  解析 ,  実験 ,  研究