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J-GLOBAL ID：201302287699359329   整理番号：13A1818769

SU-8微細構造の機械的信頼性に対する前処理とハードベーキングの影響

Influences of pretreatment and hard baking on the mechanical reliability of SU-8 microstructures

著者 (9件)： MORIKAKU Toshiyuki (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  KAIBARA Yoshinori (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  INOUE Masatoshi (Kagawa Univ., Kagawa, JPN) ,  MIURA Takuya (Kagawa Univ., Kagawa, JPN) ,  SUZUKI Takaaki (Kagawa Univ., Kagawa, JPN) ,  OOHIRA Fumikazu (Kagawa Univ., Kagawa, JPN) ,  INOUE Shozo (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  NAMAZU Takahiro (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  NAMAZU Takahiro (JST-PRESTO, Saitama, JPN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 10  ページ： 105016,1-10  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近のMEMSでは,構造材料としてエポキシタイプUV厚膜フォトレジストであるSU-8がよく使われている。本稿では,SU-8微細構造の機械的信頼性に対する前処理とハードベーキング(200°C,60分間)の影響を調べた。前処理として酸素プラズマアッシングとプライマー(ヘキサメチルジシラザン)被覆を検討した。密着性試験には剪断試験を使った。Young率と破壊強度には引張試験法を使った。その結果,ハードベーキングにより密着性が向上したが,前処理の影響は認められなかった。プライマー被覆とハードベーキング効果が引張試験において応力緩和現象に影響を与えた。Fourier変換赤外分光法により,表面劣化とエポキシ基環開裂重合が,プライマー被覆とハードベーキングの効果にそれぞれ機械的特性に影響を与えたことが分かった。

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  微細構造 ,  前処理 ,  焼成 ,  *MEMS ,  構造材料 ,  除去 ,  プラズマ ,  *密着性 ,  剪断試験 ,  引張試験 ,  Young率 ,  破壊強さ ,  酸素プラズマ ,  *フォトレジストSU-8 ,  機械的性質 ,  強度
準シソーラス用語： *SU-8 ,  アッシング ,  破壊強度 ,  ベーキング【焼成】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： SU-8 ,  微細構造 ,  信頼 ,  ベーキング