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J-GLOBAL ID：201302288430133363   整理番号：13A0990249

低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布と電子エネルギー分布関数

Excitation Kinetics of Discharge Oxygen Plasma with Low Pressure and Effect of EEDF

著者 (4件)： 今野潤哉 (東京工大) ,  根津篤 (東京工大) ,  松浦治明 (東京工大) ,  赤塚洋 (東京工大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-13  号： 58-61.63-73  ページ： 23-28  発行年： 2013年05月16日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸素プラズマ中の励起状態生成消滅のカイネティックス及びプラズマ内の励起状態の数密度特に第一励起状態準安定¹Dの数密度に着目し,特に電子エネルギー分布関数の影響を考察した。電子エネルギー分布関数EEDFあるいは電子エネルギー確率関数EEPFが,励起状態生成消滅カイネティックスにおいて重要なことを理論モデルにより調べた。発光分光分析(OES)によって,基底状態O(³P)状態の数密度を求め,これとのクロスチェックにより理論モデルの妥当性を確認した。

シソーラス用語： 分布関数 ,  励起状態 ,  数密度 ,  基底状態 ,  *プラズマ分光 ,  発光分析 ,  準安定状態 ,  光量測定 ,  酸素 ,  一重項 ,  状態密度 ,  密度分布 ,  断面積
準シソーラス用語： 酸素プラズマ ,  確率関数 ,  電子エネルギー分布関数 ,  *放電プラズマ ,  励起状態数密度 ,  衝突断面積

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

引用文献 (10件)：

• (1) 菅井秀郎:「プラズマエレクトロニクス」、オーム社、東京(2000).
• (2) 山本伸彦:「マイクロ波表面波プラズマを用いたシリコン酸化窒化」, プラズマ・核融合学会誌, Vol.87, No.1, pp.4-8(2011).
• (3) T. Kitajima, T. Nakano, and T. Makabe:“Increased O(¹D) Metastable Density in Highly Ar-Diluted Oxygen Plasmas”, Appl. Phys. Lett, Vol.88, No.9, 091501 (2006).
• (4) T. Sakamoto, H. Matsuura, and H. Akatsuka:“Actinometry Measurement of Oxygen Dissociation Degree in a Microwave Discharge Plasma and Effect of Electron Energy Distribution Function”, J. Adv. Oxid. Technol., Vol.10, No.2, pp.247-252 (2007).
• (5) Y. Ichikawa, T. Sakamoto, H. Matsuura, and H. Akatsuka:“Actinometry Measurement of Dissociation Degrees of Nitrogen and Oxygen in N₂-O₂ Microwave Discharge Plasma”, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.49, No.10, 106101 (2010).

タイトルに関連する用語 (6件)： 低気圧 ,  放電 ,  酸素プラズマ ,  励起状態 ,  密度分布 ,  電子エネルギー分布関数