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J-GLOBAL ID：201302292914327186   整理番号：13A0794895

希薄ガスセンサとして機能するMWCNT埋め込み型マイクロメカニカル共振器の開発

DEVELOPMENT OF MWCNT EMBEDDED MICROMECHANICAL RESONATOR WORKING AS RAREFIED GAS SENSOR

著者 (6件)： KISHIHARA H. (Kobe Univ., Hyogo) ,  HANASAKI I. (Osaka Univ., Osaka) ,  MATSUZUKA N. (Akashi National Coll. Technol., Hyogo) ,  YAMASHITA I. (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  URAOKA Y. (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  ISONO Y. (Kobe Univ., Hyogo)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.2  ページ： 985-988  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 希薄ガス流体の検出およびガス種の識別のために多層カーボンナノチューブ(MWCNT)埋め込みマイクロメカニカル共振器を提案した。等価回路モデルを用いて本共振器を設計した。多段交互フェリチンコーティングプロセスにより密度制御MWCNTを合成し,リフトオフプロセスにより共振器へのMWCNTの特定配置を行った。圧力0.02~0.9Paの下で希薄水素および窒素ガス流体の検出と識別を本共振器により行うことができた。

シソーラス用語： *微小共振器 ,  *希薄気体 ,  *ガスセンサ ,  多層カーボンナノチューブ ,  フェリチン ,  微細加工 ,  気体 ,  水素
準シソーラス用語： MWCNT ,  リフトオフ加工 ,  希薄ガス ,  水素ガス ,  窒素ガス ,  微小機械共振器

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 希薄ガス ,  MWCNT ,  埋め込み ,  共振器 ,  開発