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J-GLOBAL ID：201302296260788010   整理番号：13A1198820

X線自由電子レーザカソードの高密度大規模電界エミッタアレイ

High-density large-scale field emitter arrays for X-ray free electron laser cathodes

著者 (5件)： GUZENKO Vitaliy A. (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE) ,  MUSTONEN Anna (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE) ,  HELFENSTEIN Patrick (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE) ,  KIRK Eugenie (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE) ,  TSUJINO Soichiro (Lab. for Micro- and Nanotechnology, Paul Scherrer Inst., 5232 Villigen PSI, CHE)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 111  ページ： 114-117  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高輝度電子源は,硬X線自由電子レーザの動作にとても重要である。二重ゲート金属電界エミッタアレイ(FEA)に基づく電界放出カソードは,現在使用されているものより高い輝度を提供できる可能性を秘めている。大規模単一ゲートおよび二重ゲートFEAの製作に電子ビームリソグラフィーのうまい応用について報告した。10⁶までのチップの総数とサブミクロンピッチの動作可能な高密度単一ゲートFEAおよび大きなコリメートゲート開口をもつ大規模二重ゲートFEAを実証した。単一および二重ゲートカソードからの放出電流の設計の詳細,製作手順およびうまい測定などを示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： アレイ ,  電界放出 ,  カソード ,  *X線レーザ ,  *自由電子レーザ ,  硬X線 ,  電子ビームリソグラフィー ,  密度 ,  *X線自由電子レーザ
準シソーラス用語： 高密度 ,  電界エミッタアレイ

分類 (1件)： その他のレーザ  (BD04090H)

タイトルに関連する用語 (5件)： X線自由電子レーザ ,  カソード ,  高密度 ,  大規模 ,  電界エミッタアレイ