特許
J-GLOBAL ID：200903022209150947

画像処理装置

発明者：
高橋 眞輪

高橋 眞輪 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (2件)： 田澤 英昭 ,  濱田 初音
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-255039
公開番号（公開出願番号）：特開2009-088184
出願日： 2007年09月28日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：
【課題】ウエハの中心位置及び回転位置(回転角)を正確に計測し位置ずれを確認することができる画像処理装置を提供する。【解決手段】トランスファチャンバ4の外側からに設置され、トランスファチャンバ4に設けられたビューポートを介してウエハ3の少なくとも輪郭線(エッジ部)を含む画像を撮像する1つの撮像カメラ2と、撮像カメラ2で撮像された画像から抽出したウエハのエッジ位置データを用いて、ウエハ3の輪郭を示す関係式を求め、この関係式に基づいてウエハ3の位置を計測する計測部14とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空処理装置は、処理対象物に対する処理を行う処理チャンバと、前記処理対象物の搬送機構を有し前記処理チャンバに前記処理対象物を搬入搬出する搬送用真空チャンバとを備えるものであり、この真空処理装置の前記処理対象物の位置を計測するために用いる画像処理装置において、 搬送用真空チャンバの外側に設置され、前記搬送用真空チャンバに設けられたビューポートを介して前記処理対象物の少なくとも輪郭線を含む画像を撮像する1つの撮像カメラと、 前記撮像カメラで撮像された画像から抽出した処理対象物の輪郭位置データを用いて、前記処理対象物の輪郭を示す関係式を求め、この関係式に基づいて前記処理対象物の位置を計測する計測手段とを備えたことを特徴とする画像処理装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  C23C 14/54 ,  H01L 21/677 ,  G06T 1/00
FI (6件)：
H01L21/68 F ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/205 ,  C23C14/54 Z ,  H01L21/68 A ,  G06T1/00 305C
Fターム (51件)：
4K029AA06 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029EA00 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC08 ,  5B057DC16 ,  5B057DC22 ,  5F004AA01 ,  5F004BC05 ,  5F004BC06 ,  5F004BD04 ,  5F004BD05 ,  5F004CB09 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031HA59 ,  5F031JA04 ,  5F031JA13 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031JA40 ,  5F031JA51 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA28 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05 ,  5F031NA08 ,  5F031NA09 ,  5F045DQ14 ,  5F045EB08 ,  5F045EN04 ,  5F045EN06
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 気相成長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-068476   出願人：古河電気工業株式会社
  • 位置決め方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-343247   出願人：株式会社ニコン
  • 位置ずれ検出装置及び処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-219823   出願人：東京エレクトロン株式会社
審査官引用 (10件)
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