特許

J-GLOBAL ID：201303007787245555

投影露光装置

発明者： マルティン・アントニ
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (4件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259133
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093700
特許番号：特許第4778642号
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 投影光を放射する光源と、光源と対物面の間の光路に配置された照明光学装置と、対物面と投影面の間の光路に配置された投影光学装置とにより、対物面に配置された対象物の像を投影面に生じさせ、その際、光源と対物面の間の瞳面の領域に位置するフィルタ平面に可動式のフィルタ・エレメントを持つフィルタが配置され、このフィルタ・エレメントは、フィルタ平面で移動可能であり、かつフィルタ平面における光軸に対する垂直方向での投影光の光度分布が、光路上のフィルタの後ろでフィルタ・エレメントの移動によって変化する透過率分布を持つ、特にマイクロリソグラフィ用の投影露光装置であって、フィルタ・エレメント(22、22’、122、222、322、422)が少なくとも一部領域で(24、124、224)、投影光(5)に対し0より大きく100%より小さい透過率を示し、 フィルタ・エレメント(22、22’、122、222、322、422)の透過率は、フィルタ表面で投影光学装置の光軸(14)に関し円対称でなく、またフィルタ・エレメント(22、22’、122、222、322、422)は、光軸(14)を中心に回転できるように取り付けられており、 回転可能なフィルタ・エレメント(22’)と結合された駆動装置(20)を備え、 駆動装置(20)と共同動作して、対物面(10)における投影光(5)の所定の照明角度分布に従って、駆動装置(20)を制御して、フィルタ・エレメント(22’)を所定の位置にセットする制御装置(18)を備え、 制御装置(18)と共同動作する少なくとも1つの検出装置(15、16、30)が、投影光(5)の光度分布を検知するため、光軸(14)に垂直な1つの面に備えられている ことを特徴とする投影露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G02B 5/00 ( 200 6.01) ,  G02B 5/22 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 5/00 A ,  G02B 5/22 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-136169   出願人：キヤノン株式会社
• 露光方法および露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-207237   出願人：ソニー株式会社
• 投影露光装置及びそれを用いた半導体デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-201777   出願人：キヤノン株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-195922   出願人：株式会社ニコン