特許

J-GLOBAL ID：201303008466765790

ワイヤソー制御システムおよびワイヤソー

発明者： ロセ, ジャン-マルク ,  ナッシュ, フィリップ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ スウィッツァーランド エス アー エール エル
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-237407
公開番号（公開出願番号）：特開2013-094959
出願日： 2012年10月29日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：

【課題】ワイヤソーを動作させるためのワイヤソー制御システムを提供する。【解決手段】インゴット302、304、306、308に対してワイヤ230を選択可能なワイヤ速度で移動させることによってウエハへとスライシングするワイヤソー100のワイヤソー制御システム1は、ワイヤ230を検査するためのカメラ20と、ワイヤ速度に従ってカメラ20を動作させるためのカメラ制御ユニット25とを含む。さらに、このワイヤソー制御システム1を含むワイヤソー2およびワイヤソー2のワイヤ230を検査する方法は、ワイヤ230を可変のワイヤ速度で移動させるステップと、ワイヤ速度に従ってワイヤ230を検査し、それによって検査結果を得るステップとを含む。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

選択可能なワイヤ速度でワイヤ(230)をウエハ(304、304、306、308)に対して移動させることによって前記ウエハを切削するように適合されたワイヤソー(100)を動作させるためのワイヤソー制御システム(1)であって、 a)前記ワイヤを検査するためのカメラ(20)と、 b)前記ワイヤ速度に従って前記カメラを動作させるためのカメラ制御ユニット(25)と を備えるワイヤソー制御システム(1)。

IPC (1件)：

B24B 27/06

FI (3件)：

B24B27/06 D ,  B24B27/06 S ,  B24B27/06 H

Fターム (6件)：

3C058AA05 ,  3C058AA16 ,  3C058BA09 ,  3C058BC02 ,  3C058CA02 ,  3C058DA03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 切断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-306150   出願人：株式会社ノリタケスーパーアブレーシブ, 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
• 切断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-052061   出願人：株式会社ノリタケスーパーアブレーシブ, 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
• マルチワイヤソーのワイヤ断線予防装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-181435   出願人：三菱電機株式会社
• ワイヤソー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-006045   出願人：三菱電機株式会社