特許
J-GLOBAL ID：201303011438920021
設備管理システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人アイ・ピー・エス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-212327
公開番号（公開出願番号）：特開2013-074133
出願日： 2011年09月28日
公開日（公表日）： 2013年04月22日
要約：
【課題】基板処理装置に接続される付帯設備を把握し、付帯設備をメンテナンスする作業にかかる負荷を軽減する。【解決手段】基板処理装置と、前記基板処理装置に関連し、前記基板処理装置と直接又は間接的に接続される付帯設備と、前記付帯設備から収集される前記付帯設備に関する情報を少なくとも格納する記憶装置と、前記記憶装置に格納された情報に基づいて、前記基板処理装置及び前記付帯設備の接続関係を表示する表示装置とを備える。前記付帯設備は、ガスボンベが配置されるシリンダーキャビネット及びガス及び熱を排気する排気装置であり、前記表示装置は、前記基板処理装置及び前記シリンダーキャビネットの接続関係並びに前記基板処理装置及び前記排気装置の接続関係を連結させて表示する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板処理装置と、
前記基板処理装置に関連する付帯設備と、
前記付帯設備に関する情報を少なくとも格納する記憶装置と、
前記記憶装置に格納された情報に基づいて、前記基板処理装置及び前記付帯設備の接
続関係を表示する表示装置と
を備える基板処理システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, G05B19/418 Z
3C100AA68
, 3C100BB13
, 3C100EE06
