特許
J-GLOBAL ID：201303017264023988

外観検査方法及びその装置

発明者：
酒井 薫

酒井 薫 について

, 
前田 俊二

前田 俊二 について

, 
丸山 重信

丸山 重信 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-164102
公開番号（公開出願番号）：特開2013-029350
出願日： 2011年07月27日
公開日（公表日）： 2013年02月07日
要約：
【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。【解決手段】 物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも1つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも1つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
物体の外観を検査する装置であって、 検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動可能なテーブル手段と、 該テーブル手段に載置された前記検査対象物体を撮像して前記検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む前記検査対象物体の画像を取得する画像取得手段と、 該テーブル手段に載置された前記検査対象物体の表面凹凸情報を取得する表面変位情報取得手段と、 該表面変位情報取得手段で取得した前記物体の表面凹凸情報から前記検査対象物体の立体形状を復元する立体形状復元手段と、 該画像取得手段で取得した画像と該立体形状復元手段で復元した前記検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得る外観データ生成手段と、 該外観データ生成手段で得られた外観情報から複数の特徴を抽出する特徴抽出手段と、 該特徴抽出手段で抽出した該複数の特徴のうち少なくとも1つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも1つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価する外観評価手段と、 を備えたことを特徴とする物体の外観検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/30 ,  G06T 15/80 ,  G06T 19/00 ,  G01N 21/88
FI (4件)：
G01B11/30 A ,  G06T15/50 200 ,  G06T17/40 A ,  G01N21/88 J
Fターム (78件)：
2F065AA49 ,  2F065AA50 ,  2F065AA53 ,  2F065AA61 ,  2F065BB06 ,  2F065BB15 ,  2F065BB16 ,  2F065CC08 ,  2F065CC10 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF05 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065GG23 ,  2F065HH08 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065LL25 ,  2F065LL33 ,  2F065PP11 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ07 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR08 ,  2G051AA07 ,  2G051AA31 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC12 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EB09 ,  2G051ED11 ,  2G051FA04 ,  5B050BA09 ,  5B050CA07 ,  5B050EA06 ,  5B050EA07 ,  5B050EA12 ,  5B050EA13 ,  5B050EA15 ,  5B050EA19 ,  5B050EA28 ,  5B050FA02 ,  5B080AA05 ,  5B080DA02 ,  5B080DA03 ,  5B080GA22 ,  5B080GA23
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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