特許
J-GLOBAL ID：201303017749523601
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
廣瀬 一
, 宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-072463
公開番号（公開出願番号）：特開2013-206630
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】有機EL素子基板と対向基板との間にゲル吸湿剤を簡便かつ確実に封止することのできる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。【解決手段】対向基板の周辺部に塗布されたシール剤によりゲル吸湿剤を有機EL素子基板と対向基板との間に密封するに際して、対向基板の表面に塗布されたゲル吸湿剤から対向基板の周辺部に流れ出た比較的低分子のシリコーンをCF4またはC4F6またはSF6でプラズマ処理をした後(エッチング工程S15)、シール剤塗布工程S17でシール剤を対向基板の周辺部に塗布してゲル吸湿剤を有機EL素子基板と対向基板との間に封止する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
有機EL素子基板と、該有機EL素子基板の表面上に形成された有機EL素子層と対向する対向基板とを具備し、前記EL素子基板と前記対向基板との間に吸湿剤とシリコーン系材料との混合物からなるゲル吸湿剤が封止された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記対向基板の表面に前記ゲル吸湿剤を塗布する工程と、前記対向基板の周辺部をCF4でエッチングした後、前記対向基板の周辺部にシール剤を塗布する工程と、前記有機EL素子基板と前記対向基板とを貼り合わせて前記ゲル吸湿剤を前記シール剤により封止する工程とを有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, H05B 33/04
H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05B33/04
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC23
, 3K107CC45
, 3K107EE42
, 3K107EE53
, 3K107EE55
, 3K107GG13
, 3K107GG22
, 3K107GG28
