被検査試料測定装置及び被検査試料測定装置の制御方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：布施行夫 , 大渕美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-276211
公開番号（公開出願番号）：特開2013-127859
出願日： 2011年12月16日
公開日（公表日）： 2013年06月27日
要約：

【課題】圧子の先端と被検査試料の測定点との位置合わせをユーザの技量に依存せず正確に行うことが可能な、被検査試料測定装置及び被検査試料測定装置の制御方法を提供すること。【解決手段】走査画像上で圧子20先端と傾斜軸TAとを一致させた状態で圧子20を所定角度だけ傾斜させたときの圧子20先端の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき圧子20先端と傾斜軸TAの距離Lを算出し、走査画像上で試料Sの測定点と傾斜軸TAとを一致させた状態で試料Sを所定角度だけ傾斜させたときの試料Sの測定点の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき試料Sの測定点と傾斜軸TAの距離mを算出し、距離Lと距離mとに基づいて、圧子20の先端と試料Sの測定点との位置合わせを行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡の試料室内に備えた圧子により被検査試料に対して荷重を印加して被検査試料の荷重変位特性を測定する被検査試料測定装置であって、前記圧子を移動するための圧子移動機構と、前記被検査試料を移動するための被検査試料移動機構と、前記圧子及び前記被検査試料を傾斜軸を中心に傾斜させるための傾斜機構と、前記圧子及び前記被検査試料の移動及び傾斜を制御して、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う制御部とを含み、前記制御部が、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記圧子先端と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記圧子を所定角度だけ傾斜させたときの前記圧子先端の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記圧子先端と前記傾斜軸の距離を算出し、前記走査型電子顕微鏡により取得される走査画像上で前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸とを一致させた状態で前記被検査試料を所定角度だけ傾斜させたときの前記被検査試料の測定点の該走査画像上での移動量を求め、求めた移動量に基づき前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離を算出し、前記圧子先端と前記傾斜軸の距離と、前記被検査試料の測定点と前記傾斜軸の距離とに基づいて、前記圧子の先端と前記被検査試料の測定点との位置合わせを行う、被検査試料測定装置。

IPC (4件)：

H01J 37/28 , H01J 37/20 , H01J 37/22 , G01N 23/225

FI (4件)：

H01J37/28 B , H01J37/20 F , H01J37/22 502H , G01N23/225

Fターム (14件)：

2G001AA03 , 2G001CA03 , 2G001GA12 , 2G001HA13 , 2G001KA07 , 5C001AA03 , 5C001AA04 , 5C001AA05 , 5C001AA06 , 5C001BB04 , 5C001CC04 , 5C033UU03 , 5C033UU05 , 5C033UU08

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭55-088256
特開平4-284342
部品検査システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-307104 出願人：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社

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