特許
J-GLOBAL ID：201303018069233273

撮像素子形成ウエハ、固体撮像素子の製造方法および撮像素子チップ

発明者：
一木 孝彦

一木 孝彦 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-078609
公開番号（公開出願番号）：特開2013-211291
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：
【課題】撮像素子の製造工程中において、光電変換膜の良否を検査可能とする。【解決手段】半導体ウエハ110上に形成された、多数の光電変換画素からなる撮像領域112を含む複数の撮像素子部101aと、テストパターン10とを備え、テストパターン10は、光電変換画素の有機光電変換膜130および対向電極131とそれぞれ同時に形成された同一構成のテスト用有機光電変換膜130aおよびテスト用対向電極131a、テスト用有機光電変換膜130aの下面側に電気的に接続された第1のテスト用端子127a、およびテスト用対向電極131aに電気的に接続された第2のテスト用端子127bを含むものとする。撮像領域112およびテストパターン10を覆うように半導体ウエハ110上の全域に亘って保護膜132を形成した後に、テスト用端子127a,127bの一部を露出するように部分的に除去する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
信号読出し回路を備えた半導体ウエハと、 該半導体ウエハ上に形成された、多数の光電変換画素からなる撮像領域を含む複数の撮像素子部と、 前記半導体ウエハ上の前記撮像領域以外に形成されたテストパターンとを備え、 前記光電変換画素は、前記半導体ウエハ上に順に積層された画素電極、有機光電変換膜および対向電極を含み、 前記テストパターンが、前記光電変換画素の前記有機光電変換膜および前記対向電極とそれぞれ同時に形成された同一構成のテスト用有機光電変換膜およびその上に形成されたテスト用対向電極、前記テスト用有機光電変換膜の下面側に電気的に接続された第1のテスト用端子、および前記テスト用上部電極層に電気的に接続された第2のテスト用端子を含み、 さらに、前記撮像領域および前記テストパターンを覆うように前記半導体ウエハ上の全域に亘って形成された後に、前記撮像領域を露出させることなく前記第1のテスト用端子の一部および前記第2のテスト用端子の一部を露出するように部分的に除去された保護膜を備えていることを特徴とする撮像素子形成ウエハ。
IPC (2件)：
H01L 27/14 ,  H01L 27/146
FI (2件)：
H01L27/14 Z ,  H01L27/14 E
Fターム (15件)：
4M118AA09 ,  4M118BA07 ,  4M118CA14 ,  4M118CA32 ,  4M118CB05 ,  4M118CB14 ,  4M118CB20 ,  4M118EA01 ,  4M118EA11 ,  4M118EA12 ,  4M118EA14 ,  4M118EA18 ,  4M118GA01 ,  4M118HA30 ,  4M118HA35
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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