特許
J-GLOBAL ID：201303018145501703
シートビーム式検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
小野 新次郎
, 大塚 住江
, 山崎 幸作
, 田中 英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-006612
公開番号（公開出願番号）：特開2012-119704
特許番号：特許第5302423号
出願日： 2012年01月16日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料を収納したカセットを保持するカセットホルダと、
空間内の雰囲気が制御されたミニエンバイロメント装置と、
前記試料を保持するステージと、前記試料に所定幅のシート状の一次電子線を照射する一次光学系と、前記試料から放出された二次電子線を捕捉する二次光学系とを有するワーキングチャンバと、
前記ミニエンバイロメント装置と前記ワーキングチャンバとの間に設けられ、前記試料を搬送するローダハウジングと、
を備えるシートビーム式検査装置であって、
前記一次光学系が、複数の電子線源室にそれぞれ設けられた電子線源と、それぞれの前記電子線源に対応して設けられ、それぞれの前記電子線源から発せられた電子線の形状を整形する電子光学系と、前記複数の電子線源室を前記電子光学系から分離する仕切板とを備え、
前記複数の電子線源室がベローズによって相互に結合され、
前記仕切板には、それぞれの前記電子線源から発せられた電子線を通過させるための穴が形成され、
前記ミニエンバイロメント装置が、搬送ロボットとプリアライナーとを備えており、該搬送ロボットは、前記プリアライナーにより位置決めされた前記試料を前記ローダハウジングに搬送するよう動作し、
前記二次光学系において、前記二次電子線の光軸上に、カソードレンズと開口アパーチャと回転対称型のレンズとフィールドアパーチャとが配置され、前記開口アパーチャの開口部は前記一次電子線の集束位置及び前記カソードレンズの焦点位置になり、前記カソードレンズと前記開口アパーチャとがテレセントリックな電子光学系を構成し、前記カソードレンズと前記回転対称型のレンズとにより前記フィールドアパーチャ上に中間結像が得られる
ことを特徴とするシートビーム式検査装置。
IPC (5件)：
H01J 37/29 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01J 37/20 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
H01J 37/29
, H01J 37/28 B
, H01L 21/68 R
, H01J 37/20 A
, H01L 21/66 J
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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