特許
J-GLOBAL ID：201303019589279078
CVDチャンバの流れ制御機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
園田 吉隆
, 小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-520801
公開番号（公開出願番号）：特表2012-533890
出願日： 2010年07月15日
公開日（公表日）： 2012年12月27日
要約：
ガス分配アセンブリ用の装置および方法を提供する。一態様では、内側環状壁と、外壁と、上部表面と、底部表面とを有する環状リングと、上部表面内に形成された上部リセスと、内側環状壁内に形成された台座とを備えた、環状ボディと、ディスク形状のボディを貫通して形成された複数の第1のアパーチャを有するディスク形状のボディを備えた、上部リセス中に設置された上部プレートと、第1のアパーチャに整列し、ディスク形状のボディを貫通して形成された複数の第2のアパーチャを有するディスク形状のボディと、第2のアパーチャの間に、底部プレートを貫通して形成された複数の第3のアパーチャであって、底部プレートが、複数の第1のアパーチャおよび複数の第2のアパーチャを複数の第3のアパーチャから流体的に分離するために上部プレートに密閉するように連結される、複数の第3のアパーチャを備えた、台座上に設置された底部プレートと、を備えたガス分配アセンブリを提供する。
請求項（抜粋）：
内径のところに位置する内側環状壁と、外径のところに位置する外壁と、上部表面と、底部表面とを有する環状リングと、
前記上部表面内に形成された上部リセスと、
前記内側環状壁の半径方向の外側に向けて形成されたリップと、
前記内側環状壁内に形成された台座と
を備えた環状ボディと、
ディスク形状のボディを貫通して形成された複数の第1のアパーチャを有するディスク形状のボディであって、前記第1のアパーチャが前記ボディの表面を超えて延び、それによって、盛り上がった円柱状ボディが形成される、ディスク形状のボディ
を備えた、前記上部リセス内に設置された上部プレートと、
前記第1のアパーチャに整列し、ディスク形状のボディを貫通して形成された複数の第2のアパーチャを有するディスク形状のボディと、
前記第2のアパーチャの間に、底部プレートを貫通して形成された複数の第3のアパーチャであって、前記底部プレートが、前記複数の第1のアパーチャおよび前記複数の第2のアパーチャを前記複数の第3のアパーチャから流体的に分離するために前記上部プレートに密閉するように連結される、複数の第3のアパーチャと
を備えた、前記台座上に設置された底部プレートと
を備えたガス分配アセンブリ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/31 B
, H01L21/31 C
, C23C16/455
4K030AA06
, 4K030AA13
, 4K030AA14
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030BA40
, 4K030BA44
, 4K030BA48
, 4K030CA04
, 4K030CA17
, 4K030EA03
, 4K030EA05
, 4K030FA01
, 4K030KA02
, 4K030KA26
, 4K030KA30
, 4K030LA15
, 5F004BA04
, 5F004BB28
, 5F004BD04
, 5F045AA04
, 5F045AA06
, 5F045AA08
, 5F045AB32
, 5F045AB33
, 5F045AB34
, 5F045AC01
, 5F045AC07
, 5F045AC11
, 5F045AC12
, 5F045BB15
, 5F045DP03
, 5F045EF05
, 5F045EF07
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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