特許
J-GLOBAL ID:201303020695543106
赤外カメラを具備する配線欠陥検出装置、および当該赤外カメラの異常を検知する異常検知方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-013461
公開番号(公開出願番号):特開2013-153350
出願日: 2012年01月25日
公開日(公表日): 2013年08月08日
要約:
【課題】信頼性の高い配線欠陥検出を実現する配線欠陥検出装置、および当該装置に具備される赤外カメラの異常を検知するための異常検知方法を提供する。【解決手段】欠陥検査装置は、液晶パネル2の配線欠陥を検出することができ、液晶パネル2の赤外画像を取得する赤外センサ3を備える。赤外センサ3は4つの赤外カメラから構成されるマクロセンサを有し、当該赤外カメラの撮像領域の一部を互いに重複させて得られる重複領域の撮像画像を取得して、当該赤外カメラに汚れがあるか否かを検知する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の赤外カメラを備え、当該複数の赤外カメラのそれぞれがパネルの部分領域の赤外画像を得ることによって、当該パネルに設けられた配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
少なくとも2つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも2つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも2つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定手段をさらに備えていることを特徴とする配線欠陥検出装置。
IPC (6件):
H04N 5/225
, G01R 31/02
, H05K 3/00
, G01B 11/30
, G01M 11/00
, G01N 25/72
FI (6件):
H04N5/225 C
, G01R31/02
, H05K3/00 Q
, G01B11/30 A
, G01M11/00 T
, G01N25/72 G
Fターム (42件):
2F065AA03
, 2F065AA07
, 2F065AA49
, 2F065AA61
, 2F065BB28
, 2F065BB29
, 2F065CC25
, 2F065DD08
, 2F065DD13
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG09
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065PP03
, 2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AB21
, 2G014AB59
, 2G014AC09
, 2G040AA05
, 2G040AB12
, 2G040BA18
, 2G040BA27
, 2G040CA01
, 2G040CA23
, 2G040DA06
, 2G040GC06
, 2G040HA16
, 2G040ZA07
, 2G086EE10
, 5C122DA12
, 5C122DA16
, 5C122EA06
, 5C122EA66
, 5C122EA67
, 5C122FA18
, 5C122FH11
, 5C122GD11
, 5C122HB01
, 5C122HB05
引用特許: