特許
J-GLOBAL ID：201303020828572384
プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横井 幸喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-024264
公開番号（公開出願番号）：特開2013-161715
出願日： 2012年02月07日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：
【課題】プラズマ密度の一様性を大面積に亘って確保することができるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】室内でプラズマを発生させるプラズマ発生室2と、プラズマ発生室2内に互いに間隔を空けて並んで非接地で配置され、両者間の放電によってプラズマが発生する対の線状アンテナ3a、3bと、対の線状アンテナ3a、3bに接続され、線状アンテナ3a、3bに放電用の電力を供給する非接地式配線と、を有すプラズマ発生装置とすることにより、線状アンテナの長手方向にそって一様なプラズマを発生させることができ、さらに、線状アンテナの配置に制約がなく、線状アンテナをプラズマ発生室内に亘って折り返しつつ配置することで、プラズマ発生室内でのプラズマ密度を大面積に亘って均等にすることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
室内でプラズマを発生させるプラズマ発生室と、
前記プラズマ発生室内に非接地で互いに間隔を有して並んで配置され、終点結合されて両者間への電力供給によってプラズマが発生する対の線状アンテナと、
前記対の線状アンテナに接続され、前記線状アンテナに高周波電力供給する非接地式配線と、を有することを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01L 21/205
, C23C 16/509
H05H1/46 L
, H05H1/46 R
, H01L21/205
, C23C16/509
4K030AA06
, 4K030BA29
, 4K030CA06
, 4K030CA12
, 4K030FA04
, 4K030KA30
, 4K030LA16
, 5F045AA08
, 5F045AB03
, 5F045AB04
, 5F045AC01
, 5F045BB02
, 5F045BB03
, 5F045CA13
, 5F045EH02
, 5F045EH04
, 5F045EH11
, 5F045EH19
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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