放電電極、高周波プラズマ発生装置、給電方法および半導体製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171564
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007028
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】プラズマのような放電状態の均一性を向上させる放電電極を提供する。【解決手段】供給された高周波電力に基づいて放電状態19を発生させるための放電電極であって、前記高周波電力が供給される電極本体3と、前記電極本体に供給された高周波電力の反射波が前記電極本体で発生することを防止する反射波防止部13とを備えている。前記放電状態とは、放電により発生するプラズマであることができる。

請求項（抜粋）：

供給された高周波電力に基づいて放電状態を発生させるための放電電極であって、前記高周波電力が供給される電極本体と、前記電極本体に供給された高周波電力の反射波が前記電極本体で発生することを防止する反射波防止部とを備えた放電電極。

IPC (2件)：

H01L 21/205 , H05H 1/46

FI (2件)：

H01L 21/205 , H05H 1/46 M

Fターム (8件)：

5F045AA08 , 5F045AB03 , 5F045AB04 , 5F045AC01 , 5F045AD06 , 5F045AE19 , 5F045DP01 , 5F045EH04

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開平3-054825
特開平4-237940
プラズマ励起用電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-184450 出願人：国際電気株式会社

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