特許
J-GLOBAL ID：201303021772552233
レンズユニットおよびレーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
村上 啓吾
, 大岩 増雄
, 吉澤 憲治
, 竹中 岑生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-139293
公開番号（公開出願番号）：特開2013-130856
出願日： 2012年06月21日
公開日（公表日）： 2013年07月04日
要約：
【課題】光学レンズの、高エネルギーのレーザビームの瞬間的な吸収による温度変化を温度検出器で精度よく測定できるレンズユニットがfθレンズとして用いられ、加工位置のズレを精度よく補正できるレーザ加工装置を得ることである。【解決手段】fθレンズにおける光学レンズのレーザビーム非照射部分に複数の温度検出器が設けられ、温度検出器で測定され且つ制御装置に入力される光学レンズの温度信号に基づき、制御装置でレーザビーム集光点位置が制御されるものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
fθレンズとして用いられるレンズユニットであって、
光学レンズと上記光学レンズを保持する鏡筒とを備え、上記光学レンズがレーザビーム入射部であり、上記光学レンズにおける、レーザビーム照射領域と外周部との間にあるレーザビーム非照射部分に複数の温度検出器が設けられており、上記複数の温度検出器が、上記光学レンズの平均温度、または上記光学レンズの平均温度および面内の温度分布、を求める信号を測定するレンズユニット。
IPC (5件)：
G02B 26/10
, B23K 26/00
, B23K 26/08
, B23K 26/06
, G02B 13/00
G02B26/10 E
, B23K26/00 M
, B23K26/08 B
, B23K26/06 A
, G02B13/00
2H045AB01
, 2H045BA12
, 2H045CA63
, 2H045DA11
, 2H087KA26
, 2H087LA22
, 2H087NA08
, 2H087PA02
, 2H087PA17
, 2H087PB02
, 4E068CA05
, 4E068CA11
, 4E068CB01
, 4E068CC03
, 4E068CD13
, 4E068CE03
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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