特許
J-GLOBAL ID:201303023604475528
MOCVD反応器用シャワーヘッド、MOCVD反応器、MOCVD装置及び洗浄方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-028164
公開番号(公開出願番号):特開2013-172153
出願日: 2013年02月15日
公開日(公表日): 2013年09月02日
要約:
【課題】改良されたシャワーヘッド、MOCVD反応器及びMOCVD装置を提供すること。【解決手段】MOCVD反応器用シャワーヘッドは、実施形態の一例において、厚さ方向に貫通する複数の反応ガス供給路が形成され、且つ冷却構造を有するシャワーヘッド本体部と、シャワーヘッド本体部に着脱可能に取り付けられ、シャワーヘッド本体部における各反応ガス供給路の形成位置に対応する部位に、厚さ方向に貫通する1対nのマニホールド構造が形成され、且つ冷却構造を有さないシールド板を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
厚さ方向に貫通する複数の反応ガス供給路が形成され、且つ冷却構造を有するシャワーヘッド本体部と、
前記シャワーヘッド本体部に着脱可能に取り付けられ、前記シャワーヘッド本体部における各反応ガス供給路の形成位置に対応する部位に、厚さ方向に貫通する1対nのマニホールド構造が形成され、且つ冷却構造を有さないシールド板と
を備えることを特徴とするMOCVD反応器用シャワーヘッド。
IPC (2件):
H01L 21/205
, C23C 16/455
FI (2件):
Fターム (27件):
4K030EA03
, 4K030EA04
, 4K030FA10
, 4K030GA04
, 4K030GA06
, 4K030KA02
, 4K030KA23
, 4K030LA14
, 5F045AA04
, 5F045AB09
, 5F045AC02
, 5F045AC15
, 5F045BB08
, 5F045DP03
, 5F045DP28
, 5F045DQ10
, 5F045DQ17
, 5F045EB06
, 5F045EB08
, 5F045EF05
, 5F045EF08
, 5F045EF09
, 5F045EF13
, 5F045EK07
, 5F045EM10
, 5F045EN01
, 5F045EN05
引用特許: