特許
J-GLOBAL ID：200903035447156010
CVDリアクタ用マルチガス供給インジェクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
奥山 尚一
, 有原 幸一
, 松島 鉄男
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-524857
公開番号（公開出願番号）：特表2008-508744
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
CVDリアクタ100用のガス供給インジェクタ150は、基板135に向かって下流に面する内面155上に離間した位置に配置された前駆物質ガスインレット160,165を有し、また、前駆物質ガスインレット160,165の間に配置されたキャリヤガス開口部167を有している。1つ以上の前駆物質ガス180,185が、前駆物質ガスインレット160,165を介して導入され、また、該前駆物質ガスとは実質的に反応しないキャリヤガス187が、キャリヤガス開口部167を介して導入されるようになっている。該キャリヤガスは、インジェクタ150上での堆積物生成を最小限にしている。該キャリヤガス開口部は、該面を画定する多孔質プレート230によって、又は、前駆物質インレット間に散りばめられたキャリヤインレット167を介して形成することが可能である。ガスインレットは、除去可能1780又は同軸1360であってもよい。
請求項（抜粋）：
(a)複数のストリームが、インジェクタから、反応室内に配置された1つ以上の基板へ向かう下流方向への速度成分を有するように、少なくとも1種類の前駆物質ガスを、ガス供給インジェクタの複数の離間した前駆物質インレットを介して前記複数のストリームとして前記反応室内に放出することであって、前記少なくとも1種類の前駆物質ガスが、前記1つ以上の基板上に反応堆積物を形成するように反応することと、同時に、
(b)前記少なくとも1種類の前駆物質ガスとは実質的に反応しない少なくとも1種類のキャリヤガスを、前記前駆物質インレットのうちの複数の隣接するインレット間の前記インジェクタから前記反応室内に放出することと、
を含む、化学気相成長の方法。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 16/455
, C23C 16/52
H01L21/205
, C23C16/455
, C23C16/52
4K030BA02
, 4K030BA08
, 4K030BA25
, 4K030BA38
, 4K030BB02
, 4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030EA03
, 4K030FA10
, 4K030GA06
, 4K030LA14
, 5F045AA04
, 5F045DP03
, 5F045EF05
