特許
J-GLOBAL ID：201303023661849361
欠陥検査方法および欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 学
, 戸田 裕二
, 岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-122637
公開番号（公開出願番号）：特開2013-246162
出願日： 2012年05月30日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
要約：
【課題】電子線のビーム走査、ウェハの帯電、ステージを走査時に生じる揺れ等、に伴う歪みによる位置ずれを補正することができる欠陥検査方法を提供する。【解決手段】被検査対象物の設計データから複数の領域である複数のテンプレートを抽出するテンプレート抽出工程と、複数のテンプレートのうちいずれか一つの第一のテンプレートを用いて、検査画像と設計データとの第一の位置ずれ量を求める第一の位置ずれ量算出工程と、複数のテンプレートのうち第一のテンプレート以外の第二のテンプレートと第一の位置ずれ量とを用いて、検査画像と設計データとの第二の位置ずれ量を求める第二の位置ずれ量算出工程と、第一の位置ずれ量と第二の位置ずれ量とを用いて位置ずれを補正した設計データを設計データ画像に変換し、設計データ画像と検査画像とを比較して被検査対象物の欠陥を検出する欠陥検出工程と、を備える欠陥検査方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査対象物を撮像し検査画像を取得する検査画像取得工程と、
該被検査対象物の設計データから複数の領域である複数のテンプレートを抽出するテンプレート抽出工程と、
該複数のテンプレートのうちいずれか一つの第一のテンプレートを用いて、該検査画像と該設計データとの第一の位置ずれ量を求める第一の位置ずれ量算出工程と、
該複数のテンプレートのうち該第一のテンプレート以外の第二のテンプレートと該第一の位置ずれ量とを用いて、該検査画像と該設計データとの第二の位置ずれ量を求める第二の位置ずれ量算出工程と、
該第一の位置ずれ量と該第二の位置ずれ量とを用いて位置ずれを補正した該設計データを設計データ画像に変換し、該設計データ画像と該検査画像とを比較して該被検査対象物の欠陥を検出する欠陥検出工程と、を備える欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G01N 23/225
, G01N 21/956
, H01L 21/66
G01N23/225
, G01N21/956 A
, H01L21/66 J
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001FA03
, 2G001FA08
, 2G001GA06
, 2G001HA07
, 2G001HA13
, 2G001JA03
, 2G001JA12
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051ED01
, 2G051ED04
, 2G051ED08
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106DB20
, 4M106DJ18
, 4M106DJ19
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (10件)
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