特許
J-GLOBAL ID：201303025703046704
品質予測装置、操業条件決定方法、品質予測方法、コンピュータプログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
亀谷 美明
, 金本 哲男
, 萩原 康司
, 松本 一騎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-198716
公開番号（公開出願番号）：特開2013-080458
出願日： 2012年09月10日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
要約：
【課題】製造プロセスの実績データから類似例を高速に検索し、製品の予測品質データを高精度に生成する品質予測装置を提供する。【解決手段】品質予測装置は、製造プロセスのプロセス変数値と類似するプロセス変数値を有する製造プロセスにおける過去の製造実績に係わるプロセス変数値と品質データとを含む実績データに基づいて製品の品質を予測する。品質予測装置は、実績データ記憶部から実績データを抽出するデータ抽出部と、抽出された実績データに基づいて、品質予測対象製品のプロセス変数値と類似するプロセス変数値を有する実績データの検索に用いる検索用テーブルを作成する検索用テーブル作成部と、品質予測対象製品のプロセス変数値と類似するプロセス変数値を有する実績データを抽出し、抽出された実績データに基づいて、品質予測対象製品の品質を予測する予測部と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
製造プロセスの操業条件およびプロセスの状態量からなるプロセス変数値と類似するプロセス変数値を有する前記製造プロセスにおける過去の実績データに基づいて、製品の品質を予測する品質予測装置であって、
前記製造プロセスにおける過去の製造実績に係わるプロセス変数値と品質データとを含む実績データを記憶する実績データ記憶部から、実績データを抽出するデータ抽出部と、
前記データ抽出部により抽出された前記実績データに基づいて、品質予測対象製品のプロセス変数値と類似するプロセス変数値を有する前記実績データの検索に用いる検索用テーブルを作成する検索用テーブル作成部と、
品質予測対象製品のプロセス変数値と類似するプロセス変数値を有する前記実績データを前記検索用テーブルから抽出し、抽出された前記実績データに基づいて、前記品質予測対象製品の品質を予測する予測部と、
を備え、
前記検索用テーブル作成部は、
過去の実績データのプロセス変数値からなるプロセス変数値空間をそれぞれが複数の局所領域に分割する分割候補点を複数設定するプロセス変数値空間分割部と、
前記分割候補点で分割された前記プロセス変数値空間の各局所領域について、前記品質データを確率変数とする確率密度関数を算出して、前記局所領域における前記品質データへの当該確率密度関数のあてはまりの度合いを表すあてはまり指標を算出する確率密度関数算出部と、
前記各局所領域について算出された前記あてはまり指標が最大となる局所領域を生成する前記分割候補点を確定分割点として決定し、前記確定分割点により前記プロセス変数値空間を確定分割するモデル選択部と、
前記モデル選択部により前記確定分割点にて確定分割された前記プロセス変数値空間の局所領域について、再分割の要否を判定する再分割対象領域判定部と、
前記プロセス変数値空間の局所領域の分割結果を前記検索用テーブルとして出力する分割結果出力部と、
を備えて、前記再分割対象領域判定部により再分割が必要と判定された局所領域に対して、前記プロセス変数値空間分割部による分割候補点設定と、前記確率密度関数算出部によるあてはまり指標算出と、前記モデル選択部による確定分割と、前記再分割対象領域判定部による再分割の要否判定とを繰り返し、
前記予測部は、前記品質予測対象製品のプロセス変数値と同一の前記局所領域に存在するプロセス変数値を類似のプロセス変数値として、前記品質予測対象製品のプロセス変数値と類似するプロセス変数値を有する前記実績データを前記検索用テーブルから抽出することを特徴とする、品質予測装置。
IPC (4件)：
G06Q 10/04
, G06Q 50/04
, G06Q 10/00
, G05B 19/418
G06F19/00 100
, G06F17/60 108
, G06F17/60 150
, G05B19/418 Z
3C100AA56
, 3C100BB15
, 3C100BB27
, 3C100EE10
