特許
J-GLOBAL ID：201303030065956807
位相差素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石島 茂男
, 阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-059618
公開番号（公開出願番号）：特開2012-256024
出願日： 2012年03月16日
公開日（公表日）： 2012年12月27日
要約：
【課題】光透過率と複屈折とが高い位相差素子を提供する。【解決手段】透明基板1上に斜め方向から材料蒸気を到達させ、Ta205とTi02とを含有する第一の屈折膜21と第二の光屈折膜23とを交互に積層することで複屈折膜20を形成する。複屈折膜20のTaとTiの合計量に対するTiの割合(Ti/(Ta+Ti))は、4.0原子%以上30原子%以下であり、可視光のうちの青色の光の透過率が高く、また、複屈折が大きい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
透明基板と、
Ta2O5とTiO2とを含有する蒸着材料から放出されて直進する材料蒸気が、透明基板上に第一の斜め方向から入射し、前記材料蒸気が入射する前記第一の斜め方向に沿って成長された第一の光屈折膜と、
前記材料蒸気が、前記第一の斜め方向とは異なる方向である第二の斜め方向から入射し、前記第一の光屈折膜上に、前記材料蒸気が入射する前記第二の斜め方向に沿って成長された第二の光屈折膜とを有する複屈折膜とが設けられた位相差素子であって、
前記第一、第二の光屈折膜のTaとTiの合計量に対するTiの割合(Ti/(Ta+Ti))は、4.0原子%以上30原子%以下にされた位相差素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
2H149AA17
, 2H149AB04
, 2H149AB06
, 2H149DA02
, 2H149DA12
, 2H149DB38
, 2H149EA09
, 2H149EA19
, 2H149FA41Y
, 2H149FA42Z
, 2H149FD25
, 2H191FA30
, 2H191FB12
, 2H191FC04
, 2H191LA21
, 2H191MA11
, 2H191PA43
, 2H191PA52
, 2H191PA54
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (14件)
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