特許
J-GLOBAL ID：201303034524094312
超音波厚みセンサ用酸化物系無機圧電材料焼結体の分極処理方法、焼結体、および分極処理装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
森 隆一郎
, 志賀 正武
, 高橋 詔男
, 山崎 哲男
, 松沼 泰史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062600
公開番号（公開出願番号）：特開2013-197299
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：
【課題】酸化物系無機圧電材料からなり、可撓性を示すように焼結体の密度を低密度とした超音波厚みセンサを製造するに当り、焼結体分極処理方法として、シリコンオイルに浸漬させることなく、超音波厚みセンサに必要な程度の圧電特性が得られかつ量産工程に適した分極処理方法、およびそれにより分極された焼結体、さらに分極処理装置を提供する。【解決手段】超音波厚みセンサの圧電体として使用される酸化物系無機圧電材料からなる70〜80%の密度の層状焼結体に分極処理を施すに際し、平板上のベース電極の板面に対向するようにコロナ放電用電極を配設しておき、ベース電極上に層状焼結体を配した状態で、コロナ放電用電極とベース電極との間に電圧を印加してその間でコロナ放電を生起させ、そのコロナ放電によって形成される電界領域内に層状焼結体を曝すことにより、層状焼結体に分極処理を施す【選択図】図2
請求項（抜粋）：
超音波厚みセンサの圧電体として使用される酸化物系無機圧電材料からなる層状焼結体に分極処理を施すにあたり、
前記層状焼結体としてその密度が70〜80%の範囲内のものを用い、
平板上のベース電極の板面に対向するようにコロナ放電用電極を配設しておき、
ベース電極上に前記層状焼結体を配した状態で、コロナ放電用電極とベース電極との間に電圧を印加してその間でコロナ放電を生起させ、そのコロナ放電によって形成される電界領域内に前記層状焼結体を曝すことにより、焼結体に分極処理を施すことを特徴とする超音波厚みセンサ用酸化物系無機圧電材料焼結体の分極処理方法。
IPC (5件)：
H01L 41/257
, H01L 41/187
, H01L 41/39
, H01L 41/08
, H01L 41/09
H01L41/22 B
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101B
, H01L41/22 A
, H01L41/08 Z
, H01L41/08 C
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
