光照射装置及び光照射方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：在原元司 , 竹居信利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-101052
公開番号（公開出願番号）：特開2013-229476
出願日： 2012年04月26日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：

【課題】特殊なランプを用いることなく、パルス光を照射するのと同等の効果が得られる光照射装置及び光照射方法を提供する。【解決手段】遮光板12には、光源10からの光を通過させるスリット14が形成されており、遮光板12に対して光源10の反対側には、被照射対象物が表面に形成された基材24が配置され、移動装置16a、16bにより遮光板12に設けられたスリット14に対して被照射対象物を相対的に直線的に移動させながら遮光板に形成されたスリットを介して被照射対象物に光源からの連続光を照射する。これにより、スリット14を通過した光は、基材24の表面の被照射対象物の各点に所定時間照射されることになり、光がパルス状に照射される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源からの光を通過させるスリットが形成された遮光板と、前記スリットを通過した光が、前記遮光板に対して前記光源の反対側に配置された被照射対象物の各点に所定時間照射されるように、前記被照射対象物を相対的に直線的に移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする光照射装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , H01B 13/00 , H05K 3/12 , G03F 7/20

FI (5件)：

H01L21/30 527 , H01B13/00 503C , H01B13/00 503D , H05K3/12 610D , G03F7/20 501

Fターム (23件)：

2H097AA06 , 2H097AB08 , 2H097BB01 , 2H097CA07 , 2H097LA09 , 2H097LA10 , 2H097LA11 , 5E343AA03 , 5E343AA12 , 5E343AA33 , 5E343BB22 , 5E343BB59 , 5E343BB72 , 5E343DD01 , 5E343ER43 , 5E343FF11 , 5E343GG11 , 5F146CA02 , 5F146CB05 , 5F146CB42 , 5F146DA01 , 5F146DA02 , 5G323CA05

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-175730
レンズアレイ、レンズユニット、LEDヘッド、露光装置、画像形成装置および読取装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-004974 出願人：株式会社沖データ
パターン露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-082695 出願人：凸版印刷株式会社

審査官引用 (4件)

パターン露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-082695 出願人：凸版印刷株式会社
特開平1-175730
特開平1-175730

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