特許
J-GLOBAL ID：201303037805115016

インプリント用硬化性組成物、パターン形成方法およびパターン

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について

, 
後藤 雄一郎

後藤 雄一郎 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-184530
公開番号（公開出願番号）：特開2013-046003
出願日： 2011年08月26日
公開日（公表日）： 2013年03月04日
要約：
【課題】 パターン形成性および耐熱性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。【解決手段】マレイミド構造を有する重合性化合物(Ax)をインプリント用硬化性組成物に配合する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
マレイミド構造を有する重合性化合物(Ax)を含有するインプリント用硬化性組成物。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  C08F 20/70 ,  B29C 59/02
FI (3件)：
H01L21/30 502D ,  C08F20/70 ,  B29C59/02 Z
Fターム (22件)：
4F209AA40A ,  4F209AA44A ,  4F209AB04 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4J100AL91P ,  4J100AM25P ,  4J100AM45P ,  4J100AM47P ,  4J100AM55P ,  4J100AP16P ,  4J100BA08P ,  4J100BA80P ,  4J100BA81P ,  4J100JA37 ,  5F146AA31 ,  5F146AA33
引用特許：
審査官引用 (6件)
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