特許
J-GLOBAL ID:201003073868352039
ナノインプリント用硬化性組成物、硬化物およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-225825
公開番号(公開出願番号):特開2010-067621
出願日: 2008年09月03日
公開日(公表日): 2010年03月25日
要約:
【課題】透過性に優れた硬化物が得られるナノインプリント用硬化性組成物を提供する。【解決手段】(A)少なくとも2種類の反応性の異なる硬化性官能基を同一分子内に有する単量体と、(C)酸化防止剤とを含有するナノインプリント用硬化性組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)少なくとも2種類の反応性の異なる硬化性官能基を同一分子内に有する単量体と、(C)酸化防止剤とを含有するナノインプリント用硬化性組成物。
IPC (4件):
H01L 21/027
, C08L 33/14
, C08F 2/46
, B29C 59/02
FI (4件):
H01L21/30 502D
, C08L33/14
, C08F2/46
, B29C59/02 Z
Fターム (49件):
4F209AA36
, 4F209AA43
, 4F209AA44
, 4F209AB06
, 4F209AE10
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH79
, 4F209AK03
, 4F209PA02
, 4F209PA15
, 4F209PB01
, 4F209PN03
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 4J002BD122
, 4J002BG071
, 4J002CP032
, 4J002EJ026
, 4J002EU076
, 4J002FD076
, 4J002FD312
, 4J002GQ00
, 4J002GS02
, 4J011PA33
, 4J011PA43
, 4J011PA66
, 4J011PA99
, 4J011PB24
, 4J011PB40
, 4J011QA11
, 4J011QA21
, 4J011QA33
, 4J011QA37
, 4J011QA38
, 4J011QA39
, 4J011QA43
, 4J011QA45
, 4J011QC03
, 4J011SA21
, 4J011SA23
, 4J011SA31
, 4J011SA41
, 4J011SA51
, 4J011SA64
, 4J011SA65
, 5F046AA28
引用特許:
出願人引用 (27件)
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審査官引用 (7件)
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