特許
J-GLOBAL ID：201303038832597525
厚みすべり振動型水晶片、電極付きの厚みすべり振動型水晶片、水晶振動板、水晶振動子および水晶発振器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-017619
公開番号（公開出願番号）：特開2013-157838
出願日： 2012年01月31日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】エッチングの過剰浸食の防止と水晶基板からの水晶片部の分離容易性確保との両立を図り、矩形の水晶片部(水晶振動板)の形状精度を良好化して振動特性を向上させる。【解決手段】水晶基板11をエッチングして作製する厚みすべり振動型水晶片M1について、水晶基板11にエッチングで形成された矩形状の水晶片部1と、水晶片部1を支持する支持枠部2と、水晶片部1を支持枠部2に連結する分離用連結部3とを有する。水晶片部1は、厚みすべり振動モードで駆動される。分離用連結部3は、水晶結晶軸のX軸(電気軸)プラス側の水晶片部1の基端部であって水晶結晶軸のZ軸(光学軸)から傾斜した軸であるZ′軸方向の少なくとも1つの角部において配置されている。さらに、分離用連結部3では、水晶片部1のZ′軸方向端部の外側面をX軸方向に仮想的に延長した仮想側面K1および水晶片部1のX軸プラス側の基端面をZ′軸方向に仮想的に延長した仮想基端面K2を連続して外方から覆う形態に構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水晶基板にエッチングで形成された矩形状の水晶片部と、
前記水晶片部を支持する支持枠部と、
前記水晶片部を前記支持枠部に連結する分離用連結部と、
を有し、
前記水晶片部は、厚みすべり振動モードで駆動されるものであり、
前記分離用連結部は、水晶結晶軸のX軸(電気軸)プラス側の前記水晶片部の基端部であって前記水晶結晶軸のZ軸(光学軸)から傾斜した軸であるZ′軸方向の少なくとも1つの角部において配置され、かつ、当該分離用連結部では、前記水晶片部のZ′軸方向端部の外側面をX軸方向に仮想的に延長した仮想側面および前記水晶片部のX軸プラス側の基端面をZ′軸方向に仮想的に延長した仮想基端面を連続して外方から覆う形態に構成されていることを特徴とする厚みすべり振動型水晶片。
IPC (4件)：
H03H 9/19
, H03H 9/10
, H03H 9/02
, H03H 3/02
H03H9/19 D
, H03H9/10
, H03H9/02 K
, H03H3/02 C
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108DD02
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108EE19
, 5J108JJ04
, 5J108KK01
, 5J108MM11
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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