特許
J-GLOBAL ID：201303038957174685
保持装置および保持方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-133261
公開番号（公開出願番号）：特開2013-004666
出願日： 2011年06月15日
公開日（公表日）： 2013年01月07日
要約：
【課題】外周に枠部を備えている支持膜の中央部に接着された基板を保持しているときに、該支持膜を溶剤雰囲気などから保護し、該支持膜のたわみを抑制することができる保持技術を提供する。【解決手段】本発明に係る保持装置10は、ダイシングテープ(支持膜)3が接着されている側の面からウエハ(基板)2を吸引する第一吸引部11、ダイシングフレーム(枠部)4を支持するとともに、ダイシングテープ3のウエハ2が接着されていない側の面におけるウエハ2とダイシングフレーム4とに挟まれた第一領域を覆う構造体14、および、構造体14と、ダイシングフレーム4および第一領域の少なくとも一方との間を密閉する第二吸引部12を備えている。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
外周に枠部を備えている支持膜の中央部に接着された基板を保持する保持装置であって、
該支持膜が接着されている側の面から該基板を吸引する第一吸引手段、
該枠部を支持するとともに、該支持膜の該基板が接着されていない側の面における該基板と該枠部とに挟まれた第一領域を覆う構造体、および、
該構造体と、該枠部および該第一領域の少なくとも一方との間を密閉する密閉手段
を備えていることを特徴とする保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683
, H01L 21/304
, H01L 21/301
H01L21/68 N
, H01L21/304 622P
, H01L21/78 L
, H01L21/68 P
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA12
, 5F031HA13
, 5F031MA34
, 5F031MA38
, 5F031PA30
, 5F057AA12
, 5F057CA14
, 5F057CA31
, 5F057FA16
, 5F057FA27
