特許
J-GLOBAL ID：201303039269778557

イオンビーム発生方法とそれを実施する為のイオンビーム発生装置

発明者：
鈴木 拓

鈴木 拓 について

, 
山内 泰

山内 泰 について


出願人/特許権者：
独立行政法人物質・材料研究機構

独立行政法人物質・材料研究機構 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-321053
公開番号（公開出願番号）：特開2008-135309
特許番号：特許第5051634号
出願日： 2006年11月29日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ヘリウムイオンビームを用いて所望の作業を行わせる装置におけるイオンビーム発生方法であって、 高周波放電によりヘリウムプラズマを発生させてから、前記ヘリウムプラズマ中に生成する準安定ヘリウム原子23S1に、準安定ヘリウム原子23S1から23Pへの遷移に対応する1083nmのD0線、D1線、D2線の内のどれかの波長の光を照射して、前記準安定ヘリウム原子23S1を23Pへ光ポンピングすることを特徴とするイオンビーム発生方法。
IPC (4件)：
H01J 27/16 ( 200 6.01) ,  H01J 27/24 ( 200 6.01) ,  H01J 37/08 ( 200 6.01) ,  H01J 37/252 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01J 27/16 ,  H01J 27/24 ,  H01J 37/08 ,  H01J 37/252 B
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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