特許
J-GLOBAL ID：201303039368795552
交流駆動静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-207606
公開番号（公開出願番号）：特開2013-084935
出願日： 2012年09月20日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：
【課題】載置面側に設けられた突起部の一部が局所的に損傷することを抑制することができる交流駆動静電チャックを提供することを目的とする。【解決手段】被吸着物を載置する側の主面に形成された突起部と、前記突起部の周辺に形成された底面部と、を有する誘電体基板と、前記誘電体基板に設けられた電極と、を備え、前記電極は、互いに離間して配設された複数の電極要素を含み、互いに異なる位相の交流電圧が前記複数の電極要素のそれぞれに印加可能とされ、前記突起部は、前記複数の電極要素の形状に応じて所定の間隔で前記主面上に配置されたことを特徴とする交流駆動静電チャックが提供される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被吸着物を載置する側の主面に形成された突起部と、前記突起部の周辺に形成された底面部と、を有する誘電体基板と、
前記誘電体基板に設けられた電極と、
を備え、
前記電極は、互いに離間して配設された複数の電極要素を含み、
互いに異なる位相の交流電圧が前記複数の電極要素のそれぞれに印加可能とされ、
前記突起部は、前記複数の電極要素の形状に応じて所定の間隔で前記主面上に配置されたことを特徴とする交流駆動静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
3C016GA10
, 5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131BA03
, 5F131BA04
, 5F131BA13
, 5F131BA19
, 5F131BA23
, 5F131BA39
, 5F131CA15
, 5F131CA17
, 5F131CA19
, 5F131CA68
, 5F131EB15
, 5F131EB17
, 5F131EB18
, 5F131EB19
, 5F131EB22
, 5F131EB54
, 5F131EB78
, 5F131EB79
, 5F131EB85
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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