圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人サトー国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-134127
公開番号（公開出願番号）：特開2013-002945
出願日： 2011年06月16日
公開日（公表日）： 2013年01月07日
要約：

【課題】圧力を高精度に検出可能にする。【解決手段】第1のケース1の凹部2内に圧力検出用の検出素子4を配設し、圧力導入孔14を有する第2のケース11を凹部2を覆うように第1のケース1に組み付け、周辺部が第2のケース11に固定されたメタルダイヤフラム16と凹部2とで囲まれた圧力検出室19を備え、圧力検出室19内に圧力伝達媒体20を充填した。メタルダイヤフラム16の周辺部上に配設されメタルダイヤフラム16を第2のケース11に固定する押さえ部材17を備え、第1のケース1の一面に凹部2を囲むように設けられた溝21内に収容され押さえ部材17により押圧支持されたシール部材22を備えた。更に、シール部材22は、溝21内に収容されて押さえ部材17により押圧された状態で、溝21の内周面21a及び外周面21bに接触するように構成した。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

一面に凹部が形成された第1のケースと、前記凹部内に配設された圧力検出用の検出素子と、圧力導入孔を有し前記凹部を覆うように前記第1のケースに組み付けられた第2のケースと、周辺部が前記第2のケースに固定された状態で前記凹部と前記圧力導入孔とを区画するメタルダイヤフラムと、前記凹部と前記メタルダイヤフラムとで囲まれ内部に圧力伝達媒体が充填された圧力検出室と、前記メタルダイヤフラムの周辺部上に配設され前記メタルダイヤフラムを前記第2のケースに固定する押さえ部材と、前記第1のケースの一面に前記凹部を囲むように設けられた溝と、前記溝内に収容され前記押さえ部材により押圧支持されたシール部材とを備え、前記圧力導入孔から導入された圧力により前記メタルダイヤフラムに発生する応力を、前記圧力伝達媒体を介して前記検出素子へ伝達するように構成された圧力センサにおいて、前記シール部材は、前記溝内に収容されて前記押さえ部材により押圧された状態で、前記溝の内周面及び外周面に接触するように構成されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L 19/06

FI (1件)：

G01L19/06 A

Fターム (7件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD01 , 2F055EE11 , 2F055FF11 , 2F055GG22

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体圧力検出器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-034359 出願人：日本電装株式会社
圧力センサ膜を密封するための装置および方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-501896 出願人：バクスターインターナショナルインコーポレイテッド, バクスター・ヘルスケヤー・ソシエテ・アノニム
力センサアセンブリ
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-569200 出願人：ブリードオートモティブテクノロジィインク.

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