特許
J-GLOBAL ID:201303044688536974

エアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-191209
公開番号(公開出願番号):特開2013-052465
出願日: 2011年09月02日
公開日(公表日): 2013年03月21日
要約:
【課題】エアースピンドルユニットAにおけるスピンドル5のロック状態又はロック解除状態の切換制御及びその確認作業を自動的に行い、作業の安全性と作業効率を向上する。【解決手段】ロック装置(B)における装置本体10にロックピン部材11及びロックピン部材11に対する位置制御ピン部材12と位置制御ピン部材12の位置検出センサ13bとを設ける。また、ロックピン部材11をスピンドル5の軸心方向へ進退可能に設け、スピンドル5の周面にはロックピン部材11の先端係合部11aと嵌合する少なくとも一個のロック孔5bを設ける。また、位置検出センサ13bにて位置制御ピン部材12の位置を検出することにより、ロックピン部材の先端係合部11aとスピンドルのロック孔5bとが嵌合するスピンドル5のロック状態検出信号16をインタロック機構側に伝え、更に、インタロック機構を介してスピンドル5のロック状態を解除した後にモータ部の動作を開始させる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
先端に回転ブレード用の着脱部を設けたスピンドルと、 前記スピンドルをラジアルエアーベアリング及びスラストエアーベアリングを介して回転可能に支受させるスピンドルハウジングと、 前記スピンドルを回転駆動させるモータ部と、 前記スピンドルのロック及びロック解除機構とを備えたエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置であって、 前記ロック及びロック解除機構は、 前記スピンドルハウジングの外部に装設したロック装置本体と、 前記ロック装置本体に嵌装したロックピン部材及び前記ロックピン部材に対する位置制御ピン部材と、 前記ロックピン部材、及び/又は、位置制御ピン部材の位置検出センサとを含み、 また、前記ロックピン部材を前記スピンドルの軸心方向へ進退可能に設けると共に、前記スピンドルの周面には前記ロックピン部材の先端係合部と嵌合する少なくとも一個のロック孔を設け、 更に、前記位置検出センサにより、前記ロックピン部材の先端係合部と前記スピンドルのロック孔とが嵌合する前記スピンドルのロック状態の検出信号をインタロック機構側に伝えると共に、前記インタロック機構を介して、前記スピンドルのロック状態を解除した後に前記モータ部の動作を開始することが可能となるように構成したことを特徴とするエアースピンドルユニットにおけるスピンドルのロック装置。
IPC (3件):
B24B 41/04 ,  H01L 21/301 ,  B23B 19/02
FI (3件):
B24B41/04 ,  H01L21/78 F ,  B23B19/02 E
Fターム (5件):
3C034AA19 ,  3C034BB07 ,  3C034BB69 ,  3C034DD20 ,  3C045FD10
引用特許:
審査官引用 (6件)
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