特許
J-GLOBAL ID:201303045020327768

液中プラズマ発生方法、液中プラズマ発生装置、被処理液浄化装置及びイオン含有液体生成装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三木 久巳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-081750
公開番号(公開出願番号):特開2013-211204
出願日: 2012年03月30日
公開日(公表日): 2013年10月10日
要約:
【課題】高効率に液中プラズマを生成する液中プラズマ発生方法、液中プラズマ発生装置、被処理液浄化装置及びイオン含有液体生成装置を提供する。【解決手段】無数の連通孔24を有する多孔質誘電体2を配置し、導電性導入部14から多孔質誘電体2の連通孔24へ液体又は作動ガスを含有する混合液体を供給し、多孔質誘電体2に電圧を印加して連通孔24の内部に少なくとも放電を発生させ、連通孔24内におけるプラズマ化により液体由来プラズマ及び/又は作動ガス由来プラズマを生成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
無数の連通孔を有する多孔質誘電体を配置し、導入部から前記多孔質誘電体の前記連通孔へ少なくとも液体を供給し、前記多孔質誘電体に電圧を印加して前記連通孔の内部に発熱及び放電を発生させ、前記発熱により前記連通孔内で前記液体を気化して液体由来ガスを生成し、前記放電により前記連通孔内で前記液体由来ガスをプラズマ化して液体由来プラズマを生成することを特徴とする液中プラズマ発生方法。
IPC (2件):
H05H 1/24 ,  C02F 1/48
FI (2件):
H05H1/24 ,  C02F1/48 B
Fターム (18件):
4D061DA02 ,  4D061DA03 ,  4D061DA08 ,  4D061DB01 ,  4D061DB07 ,  4D061DB08 ,  4D061DB18 ,  4D061DC03 ,  4D061DC08 ,  4D061EA15 ,  4D061EB01 ,  4D061EB04 ,  4D061EB09 ,  4D061EB11 ,  4D061EB16 ,  4D061EB17 ,  4D061EB19 ,  4D061EB33
引用特許:
審査官引用 (5件)
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