光学モジュールおよび電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 須澤修 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-192535
公開番号（公開出願番号）：特開2013-055223
出願日： 2011年09月05日
公開日（公表日）： 2013年03月21日
要約：

【課題】受光器に入射する光量の損失を低減する光学モジュールを提供する。【解決手段】複数の波長を含む光が入射する可動基板50と、可動基板50に対向し選択された波長帯域の光を透過する固定基板60と、可動基板50の固定基板60と対向する面に配置され、光の光路上に形成された第1反射膜53と、固定基板60に設けられ、第1反射膜とギャップを介して対向する第2反射膜63と、固定基板60の可動基板50と対向する面と反対の面に配置され、固定基板60を透過する光のうちの一部を透過させる開口部74が形成された遮光膜73と、遮光膜73の開口部を埋める透光性を有する中間膜75と、遮光膜73の開口部74に対向して配置され、固定基板60を透過した光を受光する受光面31aを有する受光器31と、を備え、受光器31の受光面31aが中間膜75に密着している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数の波長を含む第1光が入射する第1基板と、前記第1基板に対向し前記第1光から選択された波長帯域の第2光を透過する第2基板と、前記第1基板の前記第2基板と対向する面に配置され、前記第1光の光路上に形成された第1反射膜と、前記第2基板に設けられ、前記第1反射膜とギャップを介して対向する第2反射膜と、前記第2基板の前記第1基板と対向する面と反対の面に配置され、前記第2基板を透過する前記第2光のうち、前記第2光の一部を透過させる開口部が形成された遮光膜と、前記遮光膜の前記開口部に埋められた透光性を有する中間膜と、前記遮光膜の前記開口部に対向して配置され、前記第2基板を透過した前記第2光を受光する受光面を有する受光器と、を備え、前記受光器の前記受光面が前記中間膜に密着していることを特徴とする光学モジュール。

IPC (1件)：

H01L 31/023

FI (1件)：

H01L31/02 D

Fターム (5件)：

5F088BA01 , 5F088BB06 , 5F088JA13 , 5F088JA20 , 5F088LA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-003990
特開平2-003990
屈折率が整合した基板
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-527379 出願人：エスオーイテクシリコンオンインシュレータテクノロジース

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