低露点のクリーンルーム装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：萩原康司 , 金本哲男 , 亀谷美明 , 和田憲治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145539
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337675
特許番号：特許第4811800号
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】クリーンルーム内に給気するファンフィルタユニットが配置された給気面と,クリーンルーム内の空気を排気させる排気面と,クリーンルームの外において排気面から給気面に空気を戻す還気径路と,還気経路内を上流側と下流側に仕切って設けられた空気抵抗部材を備えたクリーンルーム装置であって, 前記還気径路内において少なくとも前記空気抵抗部材よりも下流側の気圧を,クリーンルーム装置の外部気圧と等しいかもしくはそれよりも高圧にさせる加圧手段を設け, 前記加圧手段は,減湿された空気を,給気ダクトを通じて,前記還気径路内において少なくとも前記空気抵抗部材よりも下流側に供給するファンを含み, 前記給気ダクトを通じて,前記還気径路内において少なくとも前記空気抵抗部材よりも下流側に供給する空気は,減湿された外気もしくはクリーンルームからの還気であることを特徴とする,低露点のクリーンルーム装置。

IPC (1件)：

F24F 7/06 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F24F 7/06 C

引用特許：

審査官引用 (10件)

局所密閉型清浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-163247 出願人：高砂熱学工業株式会社
クリーンルーム構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-291705 出願人：新日本空調株式会社
サーマルチャンバー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-056329 出願人：石川島播磨重工業株式会社, アイ・シー・エイ・テクノロジー株式会社

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