特許
J-GLOBAL ID:201303047439433919
液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、圧電素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
横井 俊之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-009417
公開番号(公開出願番号):特開2013-146928
出願日: 2012年01月19日
公開日(公表日): 2013年08月01日
要約:
【課題】非鉛又は低鉛化した圧電材料を用いた圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。【解決手段】圧電体層30は、少なくともBi及びCoを含む酸化物を有するバッファー層32が電極(20)上に形成され、少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含むペロブスカイト型酸化物を有する層(34)がバッファー層32上に形成されている。圧電素子3は、圧電体層30及び電極を有する。液体噴射ヘッド(1)は、ノズル開口71に連通する圧力発生室12、並びに、圧電素子3を備える。液体噴射装置(200)は、液体噴射ヘッド(1)を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ノズル開口に連通する圧力発生室と、
圧電体層及び電極を有する圧電素子と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記圧電体層は、
前記電極上に形成され、少なくともBi及びCoを含む酸化物を有するバッファー層と、
該バッファー層上に形成され、少なくともBi、Ba、Fe及びTiを含むペロブスカイト型酸化物を有する層と、を備えた、液体噴射ヘッド。
IPC (2件):
FI (1件):
Fターム (4件):
2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許: