特許
J-GLOBAL ID：201303051210509617
圧電アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-139691
公開番号（公開出願番号）：特開2013-243926
出願日： 2013年07月03日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】本発明は、圧電アクチュエータ及びその製造方法に関し、支持体に設けられた配線に起因する屈曲効率の低下を抑制することのできる圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】第1及び第2の圧電カンチレバー21,22を備えた圧電アクチュエータ10であって、第1及び第2の圧電カンチレバー21,22が形成される支持体42の上面に設けられた配線19,26,27として、パターニングされた金属膜を用いた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
枠体と、一方の端部が前記枠体と一体的に構成され、第1の圧電カンチレバーの形成領域に対応する第1の支持部、第2の圧電カンチレバーの形成領域に対応すると共に、第1の支持部とは分離された第2の支持部、及び前記第1の支持部と前記第2の支持部とを接続する第3の支持部を複数有し、前記枠体の厚さよりも薄い厚さとされた支持体と、を備えた支持部材と、
一対の第1の電極の間に第1の圧電体を設けられた前記第1の圧電カンチレバーと、
一対の第2の電極の間に第2の圧電体を設けられた前記第2の圧電カンチレバーと、
前記支持体の上面に設けられ、前記一対の第1の電極の一方と前記一対の第2の電極の一方とを電気的に接続する第1の配線と、
前記支持体の上面に設けられ、複数の前記第1の支持部に設けられた前記一対の第1の電極の他方と電気的に接続される第2の配線と、
前記支持体の上面に設けられ、複数の前記第2の支持部に設けられた前記一対の第2の電極の他方と電気的に接続される第3の配線と、
を備えた圧電アクチュエータであって、
前記第2及び第3の配線は、金属膜により構成することを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (5件)：
H02N 2/00
, H01L 41/09
, H01L 41/29
, B81B 3/00
, B81C 1/00
H02N2/00 B
, H01L41/09
, H01L41/29
, B81B3/00
, B81C1/00
3C081AA13
, 3C081AA17
, 3C081BA32
, 3C081BA43
, 3C081BA46
, 3C081BA48
, 3C081BA55
, 3C081CA02
, 3C081CA14
, 3C081CA23
, 3C081CA26
, 3C081CA28
, 3C081DA04
, 3C081DA27
