特許
J-GLOBAL ID：200903051538300232
アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-159027
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329285
出願日： 2006年06月07日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：
【課題】駆動耐久性を維持して液体噴射特性を向上したアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】基板10の一方面に設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる複数の圧電素子300を有すると共に、前記下電極60が複数の前記圧電素子300に亘って形成されており、前記下電極60の互いに隣接する前記圧電素子300の間の領域に、前記圧電素子300に設けられた領域よりも厚さが薄い薄肉部61を設けると共に、前記薄肉部61の前記圧電素子300との境界部分に凹部62を設け、該凹部62の内面及び当該凹部62の前記圧電素子300とは反対側の開口縁部を曲面状にする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板の一方面に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる複数の圧電素子を有すると共に、前記下電極が複数の前記圧電素子に亘って形成されており、
前記下電極の互いに隣接する前記圧電素子の間の領域が前記圧電素子に設けられた領域よりも厚さが薄い薄肉部となっていると共に、前記薄肉部の前記圧電素子との境界部分には、凹部が設けられており、且つ該凹部の内面及び当該凹部の前記圧電素子とは反対側の開口縁部が曲面状に設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。
IPC (6件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/187
, H02N 2/00
H01L41/08 J
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 U
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, H02N2/00 B
2C057AF65
, 2C057AG14
, 2C057AG33
, 2C057AG44
, 2C057AG52
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (2件)
審査官引用 (9件)
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